| 可選氣體種類,共71種氣體,依化學式字母順序排列。 | 
		
		
			砷化氫 
			AsH3 | 
			乙硼烷 
			B2H6 | 
			三氯化硼 
			BCl3 | 
			雙二乙氨基矽烷 
			C8H22N2Si | 
		
		
			三氟化硼 
			BF3 | 
			雙(叔丁基氨基)矽烷 
			BTBAS | 
			乙炔 
			C2H2 | 
			乙烯 
			C2H4 | 
		
		
			乙烷 
			C2H6 | 
			六氟丁二烯 
			C4F6 | 
			六氟異丁烯 
			C4H2F6 | 
			八氟環戊烯 
			C5F8 | 
		
		
			己烯 
			C6H12 | 
			辛烷 
			C8H18 | 
			二氟甲烷 
			CH2F2 | 
			氟甲烷 
			CH3F | 
		
		
			甲醇 
			CH3OH | 
			甲烷 
			CH4 (觸媒燃燒) | 
			甲烷 
			CH4 (紅外線) | 
			氯氣 
			Cl2 | 
		
		
			三氟化氯 
			ClF3 | 
			一氧化碳 
			CO | 
			硫化羰 
			COS | 
			吡啶 
			C5H5N | 
		
		
			環戊二烯基三(二甲氨基)鋯 
			CP-ZR(ZAC) | 
			二氯乙烷 
			DCE | 
			二氯矽烷 
			DCS | 
			氟氣 
			F2 | 
		
		
			四氟化鍺 
			GeF4 | 
			鍺烷 
			GeH4 | 
			氫(PPM) 
			H2 | 
			氫氣(%LEL) 
			H2 | 
		
		
			溴化氫 
			HBr | 
			六氯乙矽烷 
			HCDS / Si2Cl6 | 
			氯化氫 
			HCl | 
			氟化氫 
			HF | 
		
		
			氰化氫 
			HCN | 
			六甲基二矽氮烷 
			HMDS / H6H19NSi2 | 
			丙二氨基]雙二甲氨基鉿 
			LTHS-1 | 
			三氟化氮 
			NF3 | 
		
		
			氨氣 
			NF3 | 
			一氧化氮 
			NO | 
			臭氧 
			O3 | 
			正丙基環戊二烯基三 
			(二甲氨基)鋯 
			PCp-ZR/ (nPrCp)Zr | 
		
		
			磷化氫 
			PH3 | 
			三(二甲基氨基)環戊二烯基鉿 
			11H23N3Hf | 
			三乙胺 
			RENA, TEA / C6H15N | 
			四氯化矽 
			SiCl4 | 
		
		
			矽烷 
			SiH4 | 
			二氟矽烷 
			SiHf2 | 
			三氯乙酸 
			TCA / C2H3Cl3 | 
			四(二甲氨基)矽烷 
			3DMAS(TDMAS) | 
		
		
			四(二甲氨基)鈦 
			TDMAT/ C8H24N4Ti | 
			三乙硼烷 
			TEB/ (CH3CH2)3B | 
			四乙氧基矽烷 
			TEOS/ SiC8H20O4 | 
			磷酸三乙酯 
			TEPO(Precursor) | 
		
		
			烷基矽烷胺 
			Thalassa | 
			四氯化鈦 
			TiCl4 | 
			三甲基鋁 
			TMA(AL(CH3)3) | 
			硼酸三甲酯 
			TMB / C3H9BO3 | 
		
		
			三甲基矽烷 
			TMS / C3H10OSi | 
			六氟化鎢 
			WF6 | 
			四甲基矽烷 
			4MS (Precursor) | 
			氧氣 
			O2 | 
		
		
			硫化氫 
			H2S | 
			二氧化硫 
			SO2 | 
			二氧化氮 
			NO2 | 
			丙烷(觸媒燃燒式) 
			C3H8 | 
		
		
			丙烷(紅外線) 
			C3H8 | 
			揮發性有機化合物 
			VOC | 
			笑氣 
			N2O | 
			二氧化碳(紅外線) 
			CO2 |